隨著電力技術的發展，電氣設備得到了廣泛的應用，除了SF6斷路器，GIS封閉組合電器外，現在又出現了SF6絕緣的變壓器、電壓互感器、電源互感器及各類高壓套管等。為了保證SF6電氣設備的絕緣和滅弧能力，SF6氣體一般都以較高的壓力（如:0.3Mpa和0.6Mpa等）安裝在電器設備內，雖然有關規程要求SF6電器設備的年漏氣率不大于1%，但在實際運行過程中，許多廠家的設備都難以達到此項要求。同時，如果設備的密封出現故障和損壞，也會導致在短時間內泄漏大量的SF6氣體。另外，現場安裝設備和檢修時測試SF6氣體時，也會有少量的SF6氣體排出。